XY扫描仪

结构 ▪ 单模块、并联运动二维挠性扫描仪 ▪ 比串行运动挠性扫描仪

XY 扫描范围 更好的对称性 ▪ 100 µm x 100 µm

Z扫描仪

结构▪ 弯曲导向的强力扫描仪 ▪ 比串行运动弯曲扫描仪更好的对称性 

Z 扫描范围 ▪ 15 µm

样品架
安装▪ 磁性支架（最多 4 个样品盘） ▪ 用于多卡入式样品夹头的 FX 卡入式样品盘

载物台
Z 载物台行程范围▪ 22 mm（电动）

视觉和光学

视觉路径▪ 顶部的轴上样本视图 ▪ 与光学显微镜相同的视图

CCD ▪ 510 万像素 ▪ 像素尺寸：3.45 μm x 3.45 μm

原子力显微镜控制器
锁定放大器▪ 4 通道集成 DC - 5 MHz附件

探头更换▪ 使用自动探头更换在不到 1 分钟的时间内更换探头 （无需卸下探头以更换悬臂）

 探头安装▪ 使用芯片载体进行预对准安装