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牛津仪器纳米压痕仪、划痕仪, 用于生长1D/2D 纳米材料和异质结构的 CVD/PECVD 工具。Nanofab 通过原位催化剂活化和严格的工艺控制, 实现了纳米材料的高性能增长。
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