产品主要技术参数:
射频源: 50瓦的射频电源,具有功率自动匹配功能
真空系统:70升/秒的分子泵搭配两级隔膜泵
气压: 5E-6 Torr基本压力,400mTorr工作压力
真空规:紧凑的皮拉尼规
舱室
两个前置接口能装载TEM适配器,用于装载侧插TEM样品杆和SEM样品杆
顶部入口用于放入SEM样品台,显微镜镜筒部件或者各种真空件
舱室尺寸为3.5”直径 x 2.0” 深度
前置观察窗能观察工作时的等离子体发光
内置的电磁阀将舱室与真空泵之间隔离开,抽真空时间不到1分钟,放气时间小于5秒。
气体控制:采用精确的质量流量计来测量及控制气体流量
气体种类:采用三路独立气体(H2,O2和Ar)
清洗配方:提供包含有H2/O2配方等一系列配方,同时支持用户自定义配方
用户界面:采用交互式触摸屏,提供包含有中文、英文等多种语言界面
电源:通用电压/频率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W
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