微区扫描探针平台系统主要技术参数： 

1. 扫描范围(X、Y、Z)：70mm×70mm×70mm
2. 扫描驱动分辨率：8nm
3. 位移偏码：线性，零滞后
4. 位移：闭环定位
5. 线性位移编码分辨率：100nm
6. zei大扫速：2mm/s
7. 测量分辨率：16位@100kHz
8. 计算机通讯方式：USB接口
9. 控制与分析软件：Windows 32位MDI控制与分析软件
10. 环境池：TriCellTM(选配件)
11. SECM电化学微池：µTriCellTM (选配件)
12. 长距显微镜：VCAM2(选配件)
13. 三维图形软件：IsoPlotTM (选配件)
14. 微区技术：SECM、SVP(SVET)、SKP、LEIS（可选配）