气体质量流量控制器（流量计）

RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。协议简单可靠，兼容性强，易于组网。配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。

☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。

☆阀体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。线路板、阀体、弹簧片、精密电阻和resistor等为重要零部件，均执行严格 的入厂标准。

☆可任意角度安装。

☆兼容数字和模拟控制及显示，使用方便。易于与电气或自动控制系统配合。 配合MT-50或51系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。

• 高精度

• 良好的线性

• 快速的响应

• 对零点漂移有效的抑制

• 电磁阀使用寿命≥100万次

• 全球化的零配件供应——传感器、分流器、精密电阻等关键部件日本进口

• 通讯接口优势

• 多台控制器可以同时运行