PGS/PGM 200真空紫外光谱仪

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堀场HORIBA光栅光谱仪(单色仪), PGS/PGM 200光谱仪凭借优异的消像差设计，可实现一机两用，配合单通道探测器作为单色仪，配合CCD使用作为摄谱仪。......

参数指标

技术指标

三块标准光栅可选
54401010	1800 gr/mm 光栅，摄谱仪模式下光谱范围：4-16.5nm (75-310eV) 或 4-26nm (47-310eV) 出射端口色散：0.4-0.68nm/mm 分辨率：0.2nm
54402010	800 gr/mm光栅，摄谱仪模式下光谱范围：10-35 nm (35–124eV) 或10-56nm (22-124eV) 出射端口色散：1.0 – 1.14m/mm 分辨率：0.3nm
54406010	450 gr/mm光栅，摄谱仪模式下光谱范围：16-65 nm (7–80eV) 或 16-103nm (12-77eV) 出射端口色散：1.7–2.7m/mm 分辨率：0.5nm
光学设计	HJYzl平面光栅加超环面镜光路设计
焦长	200 mm
孔径	f/17
分辨率	低至0.2nm
波长驱动	步进电机
高真空	10^-6 mbar
真空泵法兰	DN63 LF
狭缝	测微狭缝
阵列探测器法兰	DN100CF/ICF152
可选项
狭缝	自动或固定
超高真空	10^-9 mbar，配备DN100CF真空泵法兰和DN40CF真空计接口