1、等离子体发生室与样品处理室分开，均为不锈钢腔体。

2、样品处理室ф262（内径）×165（高），左、右侧及前门上各有一个（共3个）ф90观察窗，样品装卸门146（宽）×68（高），内有ф120 （直径）水平样品台，样品台面离样品处理室底面高度两级可调节27-57-87。                                                     

3、等离子体发生室ф144（内径）×96（高）处于样品处理室之上。

4、两路气体输入，在等离子体发生室顶部中心输入工作气体，可用氮气、氧气、氦气等常用气体。                           

5、微波发生器由带有水冷磁控管的激励腔和微波源供电电源组成。微波频率2.45GHz。

6、微波功率0－1000W连续可调。带有微波输出功率显示（精确至1W）和数字指示。可长时间连续工作。

7、装置常规采用380V三相电源。                                         

8、自带冷却水循环系统形成冷却水. 制冷系统可保证冷却水温度在30度以下, 无水源要求.                

9、真空度数字显示，精确至1Pa。                                

10、气体流量在较大范围可调并显示（精确至0.01L/min）。       

11、无电极放电，避免放电污染，能量转换效率高。