微区扫描探针平台系统主要技术参数:
1. 扫描范围(X、Y、Z):70mm×70mm×70mm
2. 扫描驱动分辨率:8nm
3. 位移偏码:线性,零滞后
4. 位移:闭环定位
5. 线性位移编码分辨率:100nm
6. zei大扫速:2mm/s
7. 测量分辨率:16位@100kHz
8. 计算机通讯方式:USB接口
9. 控制与分析软件:Windows 32位MDI控制与分析软件
10. 环境池:TriCellTM(选配件)
11. SECM电化学微池:µTriCellTM (选配件)
12. 长距显微镜:VCAM2(选配件)
13. 三维图形软件:IsoPlotTM (选配件)
14. 微区技术:SECM、SVP(SVET)、SKP、LEIS(可选配)
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