电子光学系统 | 分辨率 | 15nm(30kV, 二次电子成像) |
放大倍率 | 20x~60,000x | |
加速电压 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探测器 | 二次电子探测器(SE) | |
电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
载台系统 | 载台运动 | 3轴系统 (X, Y, R) X, Y-轴: 40mm / R-轴: 360° * 影像偏移 : ±150μm * Tilt-轴 : 0~45°(选配) |
最大样品尺寸 | 70mm(Φ)*30mm(H) | |
成像系统 | 自动功能 | 自动启动,自动聚焦,自动消像散,自动调节对比度与亮度 |
图像格式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF | |
真空系统 | 真空模式 | 高真空 |
真空泵 | 旋转式机械泵/涡轮式分子泵(全自动) | |
尺寸与重量 | 主机 | 390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg |
控制单元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg | |
旋转泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg |
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