放大倍率

20x~60,000x

加速电压

1~30kV (1/5/10/15/20/30)

探测器

二次电子探测器（SE）

背散射电子探测器（BSE）

电子枪

预对中钨灯丝

载台系统

载台运动

3轴系统 (X, Y, R)

X, Y-轴: 35mm / R-轴: 360°

* 影像偏移 : ±150μm

最大样品尺寸

70mm（Φ）*30mm（H）

成像系统

自动功能

自动启动，自动聚焦，自动消像散，自动调节对比与亮度

图像格式

BMP, JPEG, PNG, TIFF

真空系统

真空模式

高&低真空

真空泵

旋转式机械泵/涡轮式分子泵（全自动）

尺寸与重量

主机

390(W)x380(D)x560(H)mm, 83kg

控制单元

390(W)x325(D)x560(H)mm, 37kg

旋转泵

400(W)x160(D)x340(H)mm, 24kg