位置单向定位精度: 1 μm
位置双向定位精度: 3 μm
最大扫描区域: 150 mm × 50 mm
局部测量精度: 10 μm (与该区域的热传导有关)
信号测量精度: 100 nV
测量结果重复性: 优于3% 误差
塞贝克系数: < 3% (半导体)
< 5% (金属)
电导率: < 5% (半导体)
< 8% (金属)
测量速度: 测量一个点的时间小于4秒
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扫描探针/原子力显微镜SPM/AFM
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