+ 设计紧凑（50mm x 55mm x 195mm），适合工业集成
+ 工业化界面，含HSSL、AquadB、CANopen、Profibus、EtherCAT、等界面
+ 测量速度快，定位样品采样带宽10MHz
+ 环境补偿单元，不同湿度、压力环境中校正反射率参数提高测量精度
+ 校正简单，配备可见激光（650nm）用于校正测量激光（1530nm）
+ 测量精度高，探测器分辨率高达1 pm
激光探头技术参数表
IDS系列激光干涉仪可提供不同型号探头（探头尺寸，光斑大小不同）。
探头直径范围：1.2mm – 22mm。典型准直激光光斑：1.6mm， 典型聚焦激光光斑：70 mm。
zei低工作温度：10mK, 1E-10mBar超高真空适用, 10MGy强辐射环境适用。
激光探头 | |||||
型号 | 尺寸mm (直径与长) | 工作距离 (低反射， 高反射材料） | 激光类型 （聚焦、准直） | 光斑 大小
| |
| D1.2/F7
| φ 1.2; 7.5 | 5-9 mm， 30-45 mm | 聚焦， 焦距7mm | 70mm@7mm |
| D4/F8
| φ 4; 11.5 | 6-10 mm， 15-30 mm | 聚焦， 焦距8mm | 70mm@8mm |
| D4/F13
| φ 4; 11.5 | 11-15 mm， 30-45 mm | 聚焦， 焦距13mm | 70mm@13mm |
| D12/F2.8
| φ 12; 32.3 | 2.8 mm | 聚焦， 焦距2.8mm | 2mm@ 2.8mm |
| M12/C1.6
| φ 14; 17.4 | 0-1000 mm | 准直 | 1.6mm |
| M15.5/C1.6
| φ 22; 20.6 | 0-1000 mm | 准直 | 1.6mm |
| M12/C7.6
| φ 14; 49.3 | 0-5000 mm | 准直 | 7.6mm |
经销商
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