致动器规格 | |
位移测量 | 允许范围 |
位移范围 | 50微米 |
位移分辨率 | 0.02 nm |
典型噪声 | <0.1 nm |
加载应用 | 电磁场 |
最大加载 | 50mN |
加载分辨率 | 3nN |
控制器规格 | |
数据采集速率 | 100 kHz |
闭合回路CPU控制速率 | 500 Hz |
动态激发频率 | 0.1 Hz-1 kHz |
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纳米压痕仪、划痕仪
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