技术特点
【技术特点】-- Transpector CPM 气体分析系统
特征概览:
用于监测复杂工艺制程四极质谱分析仪系统,检测范围:0-100,0-200和0-300amu
允许7天24小时连续监控,提高产品良率及产能,降低生产成本
紧凑型设计可安装于每个高压强真空系统
HexBlock TM 取样系统使系统性能最佳化
内置压力传感器(CDG),用于工艺压强监测和提供联锁保护
备用可选的标准气体,用于调谐和校正
封闭式离子源可阻挡腐蚀性气体和反应性气体,并可检测ppm量级的污染物
重量轻,易搬运
应用:
高压强真空系统(< 2个大气压)检漏,气体纯度,污染检测,工艺制程监控及刻蚀终点探测 (Endpoint),涉及领域:材料,传统高压强真空系统,半导体,平板显示器及太阳能等行业PVD,CVD及刻蚀系统
【技术特点对用户带来的好处】-- Transpector CPM 气体分析系统
【典型应用举例】-- Transpector CPM 气体分析系统
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多组分气体分析仪
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