高精度激光干涉仪

技术指标

?系统性能

   测量方式：单频

   稳频精度：0.05ppm

   动态采集频率：50 kHz

   预热时间：5-10分钟

 工作温度范围：0-38℃

 环境温度范围：0-38℃，环境湿度：0-95%

 存储温度范围：-20℃-70℃

?环境补偿示值误差

 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

 空气湿度传感器：±6% (0-95%)

 大气压力传感器：±0.1kPa

?线性测量

 测量距离：0-40m

 测量精度：0.5ppm (0-38℃)

 测量分辨率：1nm

 测量速度：3m/sec

?角度测量

 轴向量程：0-15m

 测量范围：±10°

 测量精度：±（0.1+0.2%R+0.02M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）

 测量分辨率：0.1″

?平面度测量

 轴向量程：0-15 m

 测量范围：±1.5 mm

 测量精度：±（0.6%R+0.02 M2）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）

 基板尺寸：50mm、100mm、150mm

 测量分辨率：0.1μm

?直线度测量

 轴向量程：0.1-4.0 m

 测量范围：±3.5 mm

 测量精度：±（0.5+0.1%R +0.15M2）μm（R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m）

 测量分辨率：0.01μm

?垂直度测量

 轴向量程：0.1-3.0 m

 测量范围：±3.5mm

 测量精度：±（0.5+0.5%R+0.2M）″（R为显示值，单位：″；M为测量距离，单位：m）

 测量分辨率：0.01μm/m

?回转轴分度精度测量

 角度测量范围：0-360°

 精密转台角度增量：5°

 精密转台分度精度：±1″

 精密转台重复性：0.2″

?尺寸重量与供电

 便携箱尺寸：560×360×250（基础系统），560×460×270（完整系统）

 基本重量(含三脚架，包装)：15Kg

 供电电源：110~265VAC

?系统组件：

1)SJ6000主机：1台

2)环境补偿单元：1台

3)光学镜组：

线性测量光学镜组：1套（标准配置）

小型线性光学镜组：1套（选配）

      小角度测量光学镜组：1套（选配）

      直线度测量光学镜组：1套（选配）

      垂直度测量光学镜组：1套（选配）

      平面度测量辅助附件：1套（选配）

回转轴测量精密转台：1套（选配）

4)测量软件：1套

5)便携式笔记本电脑：1台

6)便携式仪器配件箱：1个

7)通用三脚架：1个

8)云台附件：1套

9)磁性表座：2套

10)产品使用说明书：1套

11)产品合格证、保修卡：1套

12)免费保修：1年

13)校准证书（选配）

激光频率校准证书：

   1）由深圳市计量质量检测研究院出具；

   2）由其它机构出具。

环境补偿单元校准证书：
  1）由深圳市计量质量检测研究院出具；
   2）由其它机构出具。
线性位移校准证书：
   1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。
直线度校准证书：
  1）由中国计量院出具；
   2）由其它机构出具。
小角度校准证书：
  1）由中国计量院出具；
  2）由其它机构出具。

   3)夏、冬实验室工作服各1件（选配）