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☆参数
配套泵 | 蒸发靶材 | 蒸发电流 | 极限真空 | 样品仓尺寸 | 样品台尺寸 | 工作电压 |
|---|---|---|---|---|---|---|
两升飞跃泵 | 碳棒 | 电流100A,工作电流0-80A | 4*10-2mbar | 直径160，高120mm | 样品台尺寸直 |
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离子溅射仪
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北京意力博通技术发展有限公司
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意力博通离子溅射仪, ETD-800C型热蒸发镀膜仪把待镀膜的基片或工件置于真空室内，通过对镀膜材料加热使其蒸发气化而沉积与基体或工件表面并形成薄膜或涂层的工艺过程。
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