曲率半径 – 范围

 从6到35 mm – 凸面；从6 mm到50 mm – 凹面

 非球面SAG

 100 μm

 测量时间

 < 30 s (球面和非球面表面)
 < 60 s (复曲面)

 曲率半径 –精度

 < 10 μm

 地面图 – 抽样

 300 x 300 测量点

 表面质量 – 精度

 50 nm RMS

 表面质量 – 重复性

 2 nm RMS (1σ)

 环面角误差 – 精度

 < 1°