【技术特点】-- 高分辨率紫外波前传感器

高分辨紫外波前传感器

PHASICS公司将SID4产品系列扩展到UV波长。集合了PHASICS所有先进技术(4波横向剪切干涉法*)的SID4 UV-HR光谱范围为190到400 nm。
采样分辨率为250 x 250个测量点适合用于测量光学器件(可用于光刻、半导体等)和表面检查(例如晶片检验)。
有高灵敏度的SID4 UV-HR是具有成本效益的检测高分辨率紫外解决方案。

主要特点
• 高分辨率(250 x 250)
• 大孔径(8,0 mm x 8,0 mm)
• 覆盖UV光谱
• 高灵敏度(0,5 nm)
• 优化信噪比
• 适用于光学测量

【技术特点对用户带来的好处】-- 高分辨率紫外波前传感器

【典型应用举例】-- 高分辨率紫外波前传感器