规格参数：

透射电子显微镜指标

• 保证透射电镜原有的分辨率（非球差校正）。

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• 扫描探针操纵指标

• 粗调范围：XY方向2.5mm，Z方向1.5mm。

• 细调范围：XY方向20um，Z方向2.0um。

• 细调分辨率：XY方向0.4nm，Z方向0.04nm。




• 力学传感器指标

• 悬臂梁弹性范围5N/m~100N/m（不同型号，对应于最大载荷5uN~100uN）。

• Z方向最大位移2.0um，分辨率0.04nm。

• 载荷分辨率优于1nN（使用5N/m悬臂梁时）。

• 自动测量力-距离曲线，自动保存。

• 开尔文探针（Kelvin probe）模式（选配）。




• 电学测量指标

• 包含一个电流电压测试单元。

• 电流测量范围：10nA-20mA，9个量程。最小电流分辨率：10fA。

• 电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V。

• 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。





• 注：以上指标可能根据系统配置不同而略有变化，细调范围与分辨率允许±20%的误差