规格参数：

透射电子显微镜指标

• JEOL 电镜兼容或者FEI电镜兼容

• 保证透射电镜原有的分辨率（非球差校正）；



• 扫描探针操纵指标

• 粗调范围：XY方向2.5mm，Z方向1.5mm。

• 细调范围：XY方向18um，Z方向1.5um。

• 细调分辨率：XY方向0.3nm，Z方向0.03nm。

•   




• 电学测量指标

• 包含一个电流电压测试单元。

• 电流测量范围：0-20mA，5个量程。电流分辨率：优于30fA。

• 电压输出范围：普通模式±10V，高压模式±150V。

• 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。