规格参数:
电极数:4.
电极接触方式:芯片直接接触式.
兼容电镜:FEI, JEOL.
电压:±200 V.
电压精度:100 nV.
电流:1 A.
电流精度:1 pA.
倾角:±40°.
测试模式:恒流模式,恒压模式,单点扫描,多点扫描,脉冲模式
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