三、匀胶机主要性能指标：
1、腔体尺寸：12.5英寸 (318 毫米)；
2、Wafer芯片尺寸：10-200mm直径的材料，方片178x178mm，小于10mm提供3mm的转接托盘）；
3、转动速度：0-12,000rpm， 
4、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空载）；
5、马达旋涂转速：稳定性能误差 < ±1%；
6、转速调节精度：<0.2rpm，重复性< 0.2rpm；
7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；
8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；
9、高精度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%。
10、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；
11、分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！]
12、配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；
13、配套分析软件：SPIN3000操作分析软件；
14、原装进口水平测试仪；  
15、两袋密封圈；  
16、废液接收单元；