美国Laurell匀胶机650-23N

。三、匀胶机WS-650Mz-23NPPB主要性能指标：
  1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；

3、转动速度：0-12,000rpm，

4、旋涂加速度：0-30000rpm/sec（空载）；

5、马达旋涂转速：稳定性能误差 < ±1%；

6、转速调节精度：<0.2rpm，重复性< 0.2rpm；

7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step   0.1 精度；

8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；

9、高精度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%。

10、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；

11、分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！]
12、配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；

13、配套分析软件：SPIN3000操作分析软件；

14、原装进口水平测试仪；  
  

可选配置：

IND构造为湿站系统设计，带远程控制；

OND构造为手套箱系统设计，带远程控制；

UD自动滴胶装置：UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒，

EBR(Edge   Bead Remover)：晶圆去边，机械装置；