技术参数：
 
 定位和扫描模块
 20 x 20 mm 独立轴
 
 位移模块
 LMS 20 0.1 - 20000 μm 10 – 30000 μm/s
 往复 0.1 - 500 μm < 15 Hz
 接触摩擦 0.1 - 40 μm < 1000 Hz
 旋转 5 - 120 rpm 6 - 46 mm &oslash;
 
 负荷范围
 玻璃悬臂：5 μN - 1000 μN
 金属悬臂：1 mN - 1000 mN
 张 力 计：10 mN - 10000 mN
 特殊悬臂：挤压、附着力、粘滞作用
 
 摩擦力作用方向
 stiction黏附: very low Z
 profiling压型: low Z & high X
 indentation压痕: high Z & high X
 adhesion附着: very low Z
 viscosity粘滞: low X
 
 测试环境
 环境温度到45℃，标准湿度控制（85％相对湿度），或惰性气体环境
 
 控制单元
 Linux PC
 
 数据处理
 闪存1GB，外接存储器，USB设备或Ethernet