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上海昊量光电设备有限公司
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单轴压电扫描台/纳米平移台

tel: 400-6699-117 1000

昊量光电其它光学测量仪, AU-NPS-X系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。

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u  产品主要参数


型号

参数

AU-NPS-X-5A

AU-NPS-X-15A

AU-NPS-X-15D

AU-NPS-X-500A

AU-NPS-X-30B

AU-OEM-X-10A


Material

Aluminium

Stainless steel 316

Stainless steel 316

Titanium &

Aluminium Alloy

Titanium

Titanium


Size

 

23 long x 16.5 wide x 7.6 high

60 long x 40 wide x 13.5 high

60 long x 40 wide x 15.5 high

60 x 60 x 20

60 long x 40 wide x 15.5 high

62 long x 40 wide x 22 high


Range   (mm)

Minimum


± 7.5

± 7.5

500   

± 15 

± 5

Typical

6.5

± 8

± 8



± 6


Maximum








Resonant frequency: 0g load

Minimum


3000 HZ

3500 HZ

260 HZ

4500 HZ


Typical

8000 HZ



5000 HZ

9500 HZ



Maximum








Resolution

sub-nanometer

1 nm

sub-nanometer





Maximum   load

5 g

5 kg

5 kg

1 kg

10 kg

0.2 kg


Position noise(1σ ) /nmrms

Fast


0.2

0.2


0.12

0.05

Medium

0.1

0.1

0.1

0.09

0.07



Slow


0.05

0.05

0.04

0.1



Linearity error (peak)/%

Minimum







Typical

0.1

0.01

0.01

0.02

0.01

0.01


Maximum

0.2

0.02

0.02


0.02

0.02











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