【技术特点】-- 二维MEMS扫描镜

产品简介

二维MEMS扫描镜

无转向节二维MEMS扫描镜 超低功耗 大角度超快二维扫描

微机电扫描镜, 又称MEMS扫描镜，是通过电机驱动镜面倾斜，从而对光束实现偏转控制的器件。相比扫描振镜等常见的光束扫描器件，MEMS扫描镜具有体积小、重量轻、功耗低、对环境影响不敏感等特点，而且MEMS扫描镜可与位置传感器集成使用，实现更高的定位精度。

微机电扫描镜, MEMS扫描镜，MEMS Mirror, MicroMirror, Microscanner, Micro-scanning Mirror

这款无转向节二维MEMS扫描镜完全采用单晶硅材料制成。该二维MEMS扫描镜中不含有任何移动的金属、塑料和线圈等部件，也没有易于发生故障的压电或电磁促动器，所以该二维MEMS扫描镜具有很高的位置重复精度与可靠性。同时，这款二维MEMS扫描镜完全由免维护的纯弹性材料(单晶硅)构成,并完全采用静电驱动方式，因此工作过程中没有电流。这款无转向节二维MEMS扫描镜可实现大角度、超快二维光束扫描。二维扫描角度可达32度，并且功耗极低，仅1mW。该二维MEMS扫描镜采用线性驱动方式和四象限可寻址静电梳驱动设计，保证了很好的电压与角度的线性度。

主要特点：

l  模拟电压控制可实现任意角度偏转；

l  点到点光束扫描，驱动电压与扫描角度一一对应；

l  模块设计方便选择各种不同尺寸的镜面，以根据不同应用实现优化；

l  同时在XY两个方向实现高速扫描

l  动态模式扫描，XY两个方向大角度扫描(e.g. -16⁰ to 16⁰)

【技术特点对用户带来的好处】-- 二维MEMS扫描镜

【典型应用举例】-- 二维MEMS扫描镜