HARTS-8 四探针测试仪 _参数指标

技　术　指　标：

测量范围	电阻率：10^-5～10⁵ Ω.cm(可扩展)；方块电阻：10^-4～10⁶ Ω/□(可扩展)；电导率：10^-5～10⁵ s/cm；电阻：10^-5～10⁵ Ω；
可测晶片直径	140mmX150mm(配S-2A型测试台)； 200mmX200mm(配S-2B型测试台)； 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源	电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调
数字电压表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；输入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标	间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%；探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；
四探针探头应用参数	(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差 ( 按JJG508-87进行)	0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整机测量最大相对误差	(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%
整机测量标准不确定度	≤5%
计算机通讯接口	并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。连接电脑使用时带自动测量功能，自动选择适合样品测试电流量程；
标准使用环境	温度：23±2℃；相对湿度：≤65%；无高频干扰；无强光直射；

配置四探针测试仪主机、探针台、四探针探头、

HARTS-8 四探针测试仪