表面粗糙度评价

轮廓形状评价

测量范围

Z轴（纵向）

800mm

50mm

X轴（横向）

100mm(-22系统为200mm)

100mm(-22系统为200mm)

精度

Z轴指示精度（纵向）

—

±0.25%全量程（但是5mm范围±4µm以下）

测量分辨率

—

0.1µm /±2.5mm/0.4µm /10mm/1µm /±25mm

X轴指示精度（横向）

—

±(1+2L/100) µmL:测量长度（mm）

测量分辨率

—

差动电压

直线度精度

（0.05+1.5L/1000）mm L=测量长度(mm)

摩尔干涉光尺

测量方式

Z轴（纵向）

差动电压

点/直线/圆/部分圆/椭圆/最大点/最小点、距离、坐标差、极坐标差、直交/极坐标差表示

交叉要素点直线、直线直线、圆直线、圆圆、直线、椭圆、

对称要素（点点、点-圆、点-椭圆、直线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆-椭圆）

坐标控制（原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动。

计算结果与设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录、回放功能

X轴（横向）

摩尔干涉光尺

—

处理功能

参数/运算处理

JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO、DIN、ASME，符合CNOMO标准

Ra,Rq,RvRp, ,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rz,J,R3z,Sm,S,RDa,RDq,Rla,Rlq,Til TA,lr,Pc,Rmr,tp2,Rmr2,Rdc AVH,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,SR,SAR

—

评价曲线

剖面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、DIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线（Motif）、波纹度中心曲线（Motif）包络波纹度曲线

—

表面特性图表

负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分布曲线

0.1¬10,000.00倍（可以为任意、自动）

倾斜补偿

直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键曲线补偿（直线、R面、两端补偿可以在任意范围内）

0.1¬10,000.000倍（可以为任意、自动）

记录

纵倍率

50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K、50K、100K、200K*、500K*倍 任意、自动

—

横倍率

1、2、5、10、100、200、500、1K、2K、5K、10K、20K倍 任意、自动

—

滤波器的种类

标准型滤波器（2RC）、相位补偿型滤波器（2RC）、

相位补偿滤波器（高斯滤波器）

滤波值

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8 、25mm(7级)任意

速度

立柱上下移动速度Z轴

3mm/s

测量速度（X轴）

0.03、 0.06、0.15、 0.3、0.6、1.5、3、6mm/s(8速)

测针

交换式

交换式

测量力

0.75mN

30mN以下

测针半径

2mR

25mR

测针材料

金刚石

超硬合金

测量进给方向

—

拉 推两方向

测量姿势

—

上下两方向

各要素

电源

AC 100V±10%单相50/60Hz

耗电量

380VA

设置尺寸

1850（W）*800（D）*750（H）mm

质量

150kg