高效泵系统可以使用稀释的反应气体，如7% 氢气/氦气混合气H2或1%氨气/氦气混合气用于CCT模块中，而非使用未稀释的氢气H2或氨气以减少腐蚀问题，提高可靠性和安全性。
同时型模拟／脉冲检测器以及其实时的多通道电子学系统提供了大于8个量级的动态线性范围，使得仪器能够同时适应稳定信号和瞬时信号分析。
利用经现场证实的PlasmaLab软件通过计算机全面控制仪器和附件
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