参数 | ||
DHM型号 | T1000 | T2100 |
激光源数量 | 1 | 2 |
工作波长(±1.0nm) | 666 nm | 666 nm, 794 nm |
激光波长稳定性 | 0.01 nm/°C@666nm | |
样品台 | 手动或电动 XYZ 三轴样品台,最大移动范围 114 mm x 76 mm x 38 mm | |
物镜 | 放大倍数 1.25x 至 100x,可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等 | |
电脑 | Dell最新工作站,Intel® 多核处理器,高性能显卡 针对对 DHM® 优化配置,最小21寸显示器 | |
专用软件 | Koala专用数据采集分析软件,基于C++ 和 .NET 附加专用分析软件供不同应用分析(MEMS Analysis Tool,Cell Analysis Tool,Reflectometry Analysis) | |
性能 | ||
测量模式 | 单激光波长 666 nm | 双激光合成波长8 μm |
可用该测量模式的DHM型号 | T1000, T2100 | T2100 |
测量精度 [nm] | 1.04 | 1.0/5.04 |
纵向分辨率[nm] | 2.04 | 2.0/10.04 |
测量重复性[nm] | 0.024 | 0.024/0.054 |
动态可测纵向范围 | 最大500 μm 4 | 最大500 μm 4 |
最大可测台阶高度 | 最大1.0 μm 4 | 最大7.0 μm 4 |
最大3.5 μm 4 | 最大22 μm 5 | |
垂直校准 | 由干涉滤光片决定,范围 ±0.1 nm | |
图像采集时间 | 标准500 μs (最快可选10μs) | |
图像采集速率 | 标准30帧/秒1024x1024像素(最快可选1000帧/秒) | |
实时重建速率 | 标准25 帧/秒1024x1024像素(最快可选 100 帧/秒) | |
横向分辨率 | 由所选物镜决定,最大 300 nm | |
视场 | 由所选物镜决定,范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm | |
工作距 | 最高50倍于景深 (由所选物镜决定) | |
样品照明 | 最低1μW/cm2 |
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