所有轴均采用线性驱动

XENOS的所有轴均采用线性驱动。其优点：高速、加速快、定位精度高、驱动无剪切力影响。结合超高分辨率光栅尺技术，XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于100纳米的高定位精度。例如，测针偏移量越恒定，即可获得更佳的测量精度。于测量曲面时更显见另一优势：测针的移动路径与预定值越吻合，即可实现越出色的精确性。

虚拟中央驱动

XENOS于Y轴向配备双线性驱动系统，得益于蔡司较新的中央驱动技术可实现较佳的同步控制。该技术可据X轴位置完美分布驱动力。作为较新控制系统及算法之完美结合，这是在整个测量范围内获得较佳测量精度及运动稳定性的关键因素。

碳化硅陶瓷

XENOS在与精度密切相关的机器部件上采用创新的碳化硅陶瓷材料。迄今为止，该材料从未在类似产品或精度的测量机器上得到使用。与常规陶瓷相比，碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约50%，而刚性则可较大提升30%，同时减重20%。与钢材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可获得两倍的刚性。

加强型VAST gold

XENOS采用蔡司VAST gold测量探头。在研发过程中，蔡司在测量精度和测量重复度方面对该探头进行了优化。XENOS也采用了新型刚性连接。VAST gold探头可与较大长度为800毫米的测针以及较大重量为500克的测针配套使用，包括非对称型测针。

优化的气浮轴承

全新强化处理气浮轴承具有更佳的稳定性及测量精度。

改进的电子设计

通过全新的电子设计，移动线缆对精度影响显著降低。计算机辅助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技术在获得较大测量精度的过程中扮演着日趋重要的作用。