技术参数：
载荷范围：0-500mN
载荷分辨率：40nN
最大压入深度：200um
位移分辨率： 0.004nm
选件：
其它力学测试模块（如微纳米划痕、超纳米压痕等）
真空及环境(温度、湿度）控制
原子力显微镜成像系统
环境隔离罩
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经销商
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纳米压痕仪、划痕仪
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