技术参数
Excel 1651 UM/UC | Excel 1652 | Excel 1654 | Excel 200U | Excel 250U | |
测量行程(mm) | 1250x1650x160 | 1250x1650x250 | 1250x1650x400 | 1250x2000x200 | 1600x2500x200 |
承载重量 | 100kg | ||||
XY轴精度(μm) | 4.2+L/200 | 4.5+L/200 | 5.2+L/150 | 5.0+L/200 | 5.0+L/200 |
Z轴精度(μm) | 2.8+L/100 | 3.3+L/100 | 3.8+L/100 | 3.0+L/100 | 3.0+L/100 |
分辨率 | 0.1μm | ||||
基本倍率 | 1X(LWD)/2X(SWD) | ||||
光学变焦 | 12x | ||||
数位变焦 | 3x | ||||
综合倍率 | 15x-540x/30x-1080x |
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