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光学与视频双测量系统 Hawk Duo

tel: 400-6699-117 1000

VISION其它光学测量仪, 英国工业显微镜有限公司将符合人机工学要求的测量显微镜与视频测量系统相结合,创造了Hawk Duo。

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利用NLEC方法完成测量台校准

Hawk Duo 配备高规格、高性能的测量台,其测量范围达到400mm x300mm(16“ x 12“)。

每一测量台都在出厂前完成了非线性误差修正(NLEC)校准,可确保最佳精度,可溯及NPL/NAMAS/NIST国际标准以符合ISO9000质量认证。

结合了0.5μm分辨率的测量编码器,使得系统具有精确至2μm*的可重复性,确保结果完全可靠。

*使用200mm x 150mm测量台时(受控条件下200倍系统放大倍率)。

测量台选项


150mm x150mm200mm x150mm300mm x 225mm400mm x 300mm

200mm x 150mm CNC


技术

光学器件

已获zl的双光瞳单目镜 Dynascope™无限修正光学系统,十字光标网格已经预先居中与双眼对齐。

视频

高分辨率彩色CCD摄像头

放大倍率选项(系统总计)

提供微距物镜和显微物镜两种选择。

单一的微距物镜包括调节景深用的可调光圈。 微型物镜安装在4工位转台阵列内。


微距物镜

物镜总放大倍率工作距离视场(mm ?)景深
1x10x84mm14.2mm270μm
2x20x81mm7.1mm67μm
5x50x61mm2.8mm10μm
10x100x32mm1.4mm6μm

微型物镜(标准工作距离)

物镜总放大倍率工作距离视场(mm ?)景深
5x50x20mm4.4mm12.22μm
10x100x10.1mm2.2mm3.06μm
20x200x3.1mm1.1mm1.3μm
50x500x0.66mm0.44mm0.43μm

微型物镜(长工作距离)

物镜总放大倍率工作距离视场(mm ?)景深
10x100x21mm2.2mm4.4μm
20x200x12mm1.1mm1.72μm
50x500x10.6mm0.44mm1.10μm
100x1000x3.4mm0.22mm0.43μm

微型物镜(超长工作距离)

物镜总放大倍率工作距离视场(mm ?)景深
20x200x21mm1.1mm2.24μm

软件

  • M3测量软件

  • IK5300测量软件

配件

  • 底部滤色片(增强异形或者车削零件的清晰度)

系统详细信息

测量台
测量范围(X、Y)150mm x150mm
测量范围(Z)202mm(最大244mm)*
测量精度U954D = 2+(4.5L/1000)μm
测量台可重复性
(X)
(Y)
(Z)
 
0.004mm
0.004mm
0.004mm**
编码器可重复性
(X)
(Y)
(Z)
 
0.0005mm
0.001mm
0.0005mm
自动化
测量台移动手动
照明选项
表面照明亮白色可控可编程象限LED环形灯。
反射照明可控可编程LED反射照明。 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。
底部照明可控可编程LED底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。
尺寸
宽 x深 x 高540mm x 700mm x 780mm

 

测量台

测量范围(X、Y)200mm x150mm200mm x 150mm CNC
测量范围(Z)202mm(最大244mm)*202mm(最大244mm)*
测量精确度U952D = 2+(4.5L/1000)μmU952D = 2+(4.5L/1000)μm
测量台可重复性
(X)
(Y)
(Z)
 
0.002mm
0.002mm
0.004mm**
 
0.002mm
0.002mm
0.004mm**
编码器分辨率
(X)
(Y)
(Z)
 
0.0005mm
0.0005mm
0.0005mm
 
0.0005mm
0.0005mm
0.0005mm
自动化

测量台移动手动CNC自动化
照明选项

表面照明亮白色可控可编程象限LED环形灯。
反射照明可控可编程LED反射照明 镜后测光(TTL)
微型物镜需要反射照明。

底部照明可控可编程LED底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。
尺寸

宽 x深 x 高750mm x 700mm x 780mm

 

测量台
测量范围(X、Y)300mm x 225mm
测量范围(Z)最大89mm*
测量精确度U9515D = 2+(6.5L/1000)μm
测量台可重复性
(X)
(Y)
(Z)
 
0.010mm
0.010mm
0.010mm**
编码器分辨率
(X)
(Y)
(Z)
 
0.001mm
0.001mm
0.001mm
自动化
测量台移动手动
照明选项
表面照明亮白色LED环形灯
反射照明反射照明 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。
底部照明底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。
尺寸
宽 x深 x 高1100mm x 980mm x 700mm

 

测量台
测量范围(X、Y)400mm x 300mm
测量范围(Z)最大89mm*
测量精度U952D = 15+(8.5L/1000)μm
测量台可重复性
(X)
(Y)
(Z)
 
0.010mm
0.010mm
0.010mm**
编码器分辨率
(X)
(Y)
(Z)
 
0.001mm
0.001mm
0.001mm
自动化
测量台移动手动
照明选项
表面照明亮白色LED环形灯
反射照明反射照明 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。
底部照明底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。
尺寸
宽 x深 x 高1200mm x 1020mm x 700mm

 

* 相关配置。
**以10倍微距物镜为基础(100倍系统放大倍率)。

其中L=测得的长,单位mm(200倍系统放大倍率,采用受控条件)。

测量台校准

所有精密测量台的标准配置都进行出厂前非线性误差修正(NLEC)校准




厂家资料

地址:上海市浦东新区张江微电子港7号楼7楼

电话:400-6699-117 转 1000

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