利用NLEC方法完成测量台校准
Hawk Duo 配备高规格、高性能的测量台,其测量范围达到400mm x300mm(16“ x 12“)。
每一测量台都在出厂前完成了非线性误差修正(NLEC)校准,可确保最佳精度,可溯及NPL/NAMAS/NIST国际标准以符合ISO9000质量认证。
结合了0.5μm分辨率的测量编码器,使得系统具有精确至2μm*的可重复性,确保结果完全可靠。
*使用200mm x 150mm测量台时(受控条件下200倍系统放大倍率)。
测量台选项 | |||
---|---|---|---|
150mm x150mm | 200mm x150mm | 300mm x 225mm | 400mm x 300mm |
200mm x 150mm CNC |
技术
光学器件
已获zl的双光瞳单目镜 Dynascope™无限修正光学系统,十字光标网格已经预先居中与双眼对齐。
视频
高分辨率彩色CCD摄像头
放大倍率选项(系统总计)
提供微距物镜和显微物镜两种选择。
单一的微距物镜包括调节景深用的可调光圈。 微型物镜安装在4工位转台阵列内。
微距物镜
物镜 | 总放大倍率 | 工作距离 | 视场(mm ?) | 景深 |
---|---|---|---|---|
1x | 10x | 84mm | 14.2mm | 270μm |
2x | 20x | 81mm | 7.1mm | 67μm |
5x | 50x | 61mm | 2.8mm | 10μm |
10x | 100x | 32mm | 1.4mm | 6μm |
微型物镜(标准工作距离)
物镜 | 总放大倍率 | 工作距离 | 视场(mm ?) | 景深 |
---|---|---|---|---|
5x | 50x | 20mm | 4.4mm | 12.22μm |
10x | 100x | 10.1mm | 2.2mm | 3.06μm |
20x | 200x | 3.1mm | 1.1mm | 1.3μm |
50x | 500x | 0.66mm | 0.44mm | 0.43μm |
微型物镜(长工作距离)
物镜 | 总放大倍率 | 工作距离 | 视场(mm ?) | 景深 |
---|---|---|---|---|
10x | 100x | 21mm | 2.2mm | 4.4μm |
20x | 200x | 12mm | 1.1mm | 1.72μm |
50x | 500x | 10.6mm | 0.44mm | 1.10μm |
100x | 1000x | 3.4mm | 0.22mm | 0.43μm |
微型物镜(超长工作距离)
物镜 | 总放大倍率 | 工作距离 | 视场(mm ?) | 景深 |
---|---|---|---|---|
20x | 200x | 21mm | 1.1mm | 2.24μm |
软件
M3测量软件
IK5300测量软件
配件
底部滤色片(增强异形或者车削零件的清晰度)
系统详细信息
测量台 | |
---|---|
测量范围(X、Y) | 150mm x150mm |
测量范围(Z) | 202mm(最大244mm)* |
测量精度 | U954D = 2+(4.5L/1000)μm |
测量台可重复性 (X) (Y) (Z) | 0.004mm 0.004mm 0.004mm** |
编码器可重复性 (X) (Y) (Z) | 0.0005mm 0.001mm 0.0005mm |
自动化 | |
测量台移动 | 手动 |
照明选项 | |
表面照明 | 亮白色可控可编程象限LED环形灯。 |
反射照明 | 可控可编程LED反射照明。 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。 |
底部照明 | 可控可编程LED底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。 |
尺寸 | |
宽 x深 x 高 | 540mm x 700mm x 780mm |
测量台 | ||
---|---|---|
测量范围(X、Y) | 200mm x150mm | 200mm x 150mm CNC |
测量范围(Z) | 202mm(最大244mm)* | 202mm(最大244mm)* |
测量精确度 | U952D = 2+(4.5L/1000)μm | U952D = 2+(4.5L/1000)μm |
测量台可重复性 (X) (Y) (Z) | 0.002mm 0.002mm 0.004mm** | 0.002mm 0.002mm 0.004mm** |
编码器分辨率 (X) (Y) (Z) | 0.0005mm 0.0005mm 0.0005mm | 0.0005mm 0.0005mm 0.0005mm |
自动化 | ||
测量台移动 | 手动 | CNC自动化 |
照明选项 | ||
表面照明 | 亮白色可控可编程象限LED环形灯。 | |
反射照明 | 可控可编程LED反射照明 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。 | |
底部照明 | 可控可编程LED底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。 | |
尺寸 | ||
宽 x深 x 高 | 750mm x 700mm x 780mm |
测量台 | |
---|---|
测量范围(X、Y) | 300mm x 225mm |
测量范围(Z) | 最大89mm* |
测量精确度 | U9515D = 2+(6.5L/1000)μm |
测量台可重复性 (X) (Y) (Z) | 0.010mm 0.010mm 0.010mm** |
编码器分辨率 (X) (Y) (Z) | 0.001mm 0.001mm 0.001mm |
自动化 | |
测量台移动 | 手动 |
照明选项 | |
表面照明 | 亮白色LED环形灯 |
反射照明 | 反射照明 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。 |
底部照明 | 底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。 |
尺寸 | |
宽 x深 x 高 | 1100mm x 980mm x 700mm |
测量台 | |
---|---|
测量范围(X、Y) | 400mm x 300mm |
测量范围(Z) | 最大89mm* |
测量精度 | U952D = 15+(8.5L/1000)μm |
测量台可重复性 (X) (Y) (Z) | 0.010mm 0.010mm 0.010mm** |
编码器分辨率 (X) (Y) (Z) | 0.001mm 0.001mm 0.001mm |
自动化 | |
测量台移动 | 手动 |
照明选项 | |
表面照明 | 亮白色LED环形灯 |
反射照明 | 反射照明 镜后测光(TTL) 微型物镜需要反射照明。 |
底部照明 | 底部照明 含光圈调节功能,能够清晰界定边缘。 |
尺寸 | |
宽 x深 x 高 | 1200mm x 1020mm x 700mm |
* 相关配置。
**以10倍微距物镜为基础(100倍系统放大倍率)。
其中L=测得的长,单位mm(200倍系统放大倍率,采用受控条件)。
测量台校准
所有精密测量台的标准配置都进行出厂前非线性误差修正(NLEC)校准
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