方科ICP光谱/MP-AES/ICP-AES, 第一步：激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子也可能进一步电离成离子状态。原子及离子在光源中激发发光； 第二步：利用分光器把光源发射的光色散为按波长排列的光谱； 第三步：利用光电器件检测光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析。