【技术特点】-- NRE-4000 (ICPM) 全自动ICP刻蚀系统

• 基于PC控制的立柜式百级ICP-RIE刻蚀系统，拥有快速的刻蚀能力；

• 配套Lab View软件，菜单驱动，自动记录数据；

• 触摸屏监控；

• 全自动系统，带安全联锁；

• 四级权限，带密码保护；

• 手动上下载片；

• 可以支持ICP和RIE两种刻蚀模式；

• 实时显示真空、功率、反射功率图表，以及流量实时显示；

【技术特点对用户带来的好处】-- NRE-4000 (ICPM) 全自动ICP刻蚀系统

【典型应用举例】-- NRE-4000 (ICPM) 全自动ICP刻蚀系统