| 分辨率 | |
|---|---|
| 二次电子像（边至边） | ≦0.5nm（加速电压200kV） ≦1.0nm（加速电压100kV） |
| 扫描透射像 | 0.2nm（加速电压200kV） 0.31nm（加速电压100kV） |
| 透射像（晶格分辨率） | 0.1nm（加速电压200kV） 0.2nm（加速电压100kV） |
| 倍率（24英寸宽屏液晶显示器） | |
| 二次电子像 | X100～X150,000,000 |
| 扫描透射像 | X100～X150,000,000 |
| 透射像 | X500～X20,000,000 |
| 电子枪 | |
| 电子枪 | 肖特基场发射电子枪 |
| 加速电压 | 200kV、100kV |
| [样品系统] | |
| 样品台 | 全对中侧插式测角样品台 |
| 样品尺寸 | 3mmΦ |
| zei大倾斜角 | X : ±20° Y : ±25° 使用（双倾样品杆时） |
| 移动范围 | X,Y: ±1mm Z: ±0.2mm（马达驱动／压电驱动） |
| [选配件] | |
| 主要可安装的选配件 | 能谱仪（EDS） 电子能量损失谱仪（EELS） CCD数码相机系统 TEM/STEM三维断层扫描系统 |
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经销商
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