【技术特点】-- NPE-3500 PECVD等离子体化学气相沉积系统

• 紧凑型独立式系统

• 不锈钢或铝制腔体

• 极限真空可达10-7Torr

• RF淋浴头，HCD或微波等离子源

• 高达12”(300mm)直径的样品台

• RF射频偏压样品台

• 水冷样品台

• 可加热到的800 °C样品台

• 加热的气体管路

• 加热的液体传送单元

• 抗腐蚀的涡轮分子泵组

• 1路载体气体以及3路反应气体，带MFC

• 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

• 菜单驱动，4级密码访问保护

• 完整的安全联锁

【技术特点对用户带来的好处】-- NPE-3500 PECVD等离子体化学气相沉积系统

【典型应用举例】-- NPE-3500 PECVD等离子体化学气相沉积系统