技术参数
1、输入功率:110V/220V通用 2000W(含真空泵)
2、输出功率:1600VDC 50mA(最大电流)
3、石英罩:Φ160mm×120mm
4、样品台:Φ50mm(可选购加热型样品台,最高温度可到500℃;最长溅射时间不可超过5min)
5、真空泵:120L/M旋片式真空泵
6、进气口:装有精密可调针阀,以实现方便的调节进气量
7、靶材:尺寸直径Φ47mm,厚度0.5mm-3mm;可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,不可溅射氧化物、半导体、一些轻
金属、Al、Zn、C等
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镀膜机
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