技术参数
1、靶:Φ50mm
2、真空室:Φ160mm×120mm
3、最高真空度:≤4×10-2mbar
4、最大电流:50mA(100mA)
5、可设定最长时间:9999s
6、微型真空气阀:连接Φ3mm软管
7、最高电压:1600V DC
8、机械泵:2L/s
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镀膜机
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沈阳科晶镀膜机, GSL-1100X-SPC-16M磁控溅射镀膜仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。
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1、靶:Φ50mm
2、真空室:Φ160mm×120mm
3、最高真空度:≤4×10-2mbar
4、最大电流:50mA(100mA)
5、可设定最长时间:9999s
6、微型真空气阀:连接Φ3mm软管
7、最高电压:1600V DC
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