本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、配有直连式双旋机械泵（装有油污过滤器和防回油装置），可使真空腔体真空度达到10^-2torr。

2、配有KF25波纹管和卡箍。

3、可进行镀碳处理。

4、已通过CE认证。

产品规格

尺寸：360mm×300mm×380mm；重量：50kg

标准配件

1

钨丝舟

3个

2

碳纤维

1根

注意事项

1、对于蒸镀对氧较敏感的材料，建议使用涡旋分子泵。

2、为了达到较高的无氧环境，至少要用高纯惰性气体对真空腔体清洗3次。