技术参数 | 1、电压:AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相 2、最大功率:500W,最大电流为30A 3、真空腔体:石英腔体,直径?6“ 4、样品台:直径?50mm;可旋转,转速5rpm;与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm 5、最高温度:1700oC 6、热电偶:S型热偶,工作温度200oC-1500oC(可选用B型热偶,工作温度1200oC-1700oC) 7、控温精度:±1oC,数显温度控制器,可设置30段升降温程序 8、钨丝篮:2个 9、真空接口:KF40 10、真空计:数显防腐真空计PCG554,测量范围3.8×10-5-1125torr 11、进气接口:1/4NPS |
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