技术特点
【技术特点】-- 300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD
产品简介:300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD将自动匹配器和13.56MHz的射频电源集成在一起,可以自动匹配容抗和感抗,使得安装和操作更加方便容易。配用本司的磁控溅射头可自行搭建磁控溅射镀膜仪。
产品型号 | 300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD |
产品规格 | 尺寸:480mm×400mm×140mm |
可选配件 | 1、2“高真空磁控溅射头,可自行搭建RF或DC溅射镀膜仪。
2、同时购买300W射频发射器和2“磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75“,可将溅射 头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1“,真空腔体的壁厚不得大于1“。
3、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L。 |
【技术特点对用户带来的好处】-- 300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD
【典型应用举例】-- 300W小型自动匹配型射频电源RF-300I-LD
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