技术指标

技术参数：

1、测量范围： 4×10¹ ～ 1×10^-5 Pa。

2、X射线极限：   小于1×10^-6 Pa

3、规管灵敏度：    0.15±15%Pa^-1

4、工作参数：

加速极对地电位：225V

阴极对地电位：25V

收集极对地电位：0V

发射电流：100uA(1×10¹ ～ 1×10^-1 Pa)

                  1mA(1×10^-1 ～ 1×10^-5 Pa)

5、在101 ～ 100 Pa，2×10^-5 Pa ～ 1×10^-5 Pa范围只作参考测量。

      6、真空连接形式及烘烤温度：
        Φ15.5±0.5玻璃                   80℃
        Φ15.5±0.1金属                   80℃
        KF10快卸法兰                80℃
        KF16快卸法兰                80℃
        KF25快卸法兰                80℃
        KF40快卸法兰                80℃
        CF16超高法兰                     450℃
        CF25超高法兰                     450℃
        CF35超高法兰                     450℃