技术参数

1、电源：三芯插头

2、主腔体：875mm×480mm×500mm，装有2个球阀

3、前级室：230mm×230mm×230mm，装有2个球阀、1个机械压力表

4、主腔体真空度：不可<500torr

5、前级室真空度：最大可达100torr

6、最大正压：1.1atm