技术特点
【技术特点】-- NanoSystem 非接触式3D轮廓仪 Nano View1000
产品描述:
Nano View-1000属于紧凑式机型,但仍具有很高的测试性能。
简单的操作性和优秀的重复性使得它在研发和分析不良产品方面发挥着重要作用。
产品规格:
干涉物镜:单透镜可选
扫描范围:0-180um(270um可选)
垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm ,PSI :﹤0.1nm
倾斜台:±3°
Z轴行程:30mm(手动)
工作台面:50X50mm(手动)
应用领域:
Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。
【技术特点对用户带来的好处】-- NanoSystem 非接触式3D轮廓仪 Nano View1000
【典型应用举例】-- NanoSystem 非接触式3D轮廓仪 Nano View1000
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