技术参数
测量头
● 测量范围[μm]:±250
● 分辨率[nm]:10
● 针尖半径[μm]:2
旋转台
● 旋转角[°]:360
● 最小分辨率[°]:0.01
自动触针驱动单元
● X 轴向[mm]:20
● Z 轴向[mm]:4
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BMT台阶仪, 导程结构是密封轴在加工过程中进给方向上产生的微小的类似螺纹的结构。目前只有奔驰公司对此参数进行检测。
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● 测量范围[μm]:±250
● 分辨率[nm]:10
● 针尖半径[μm]:2
旋转台
● 旋转角[°]:360
● 最小分辨率[°]:0.01
自动触针驱动单元
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