本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸2000mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、双层壳体，炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料，有效的减少能量的损失。内炉膛表面涂有美国进

　　口氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。

2、采用分离式的控温装置，允许离开炉体进行控制。

3、设有断偶和过热保护。

4、可以选择控温软件，将温控程序和温度曲线导入到计算机中。

5、已通过CE认证。

产品规格

尺寸：1650mm×1150mm×890mm；重量：113kg

标准配件

1

石英管

1根

2

真空法兰

1套

可选配件

1、高温炉控温软件及软件接口模块

2、石英管堵

3、数字真空计

4、真空泵