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二维材料生长设备 (MoS2, h-BN, CNT等)

tel: 400-6699-117 1000

载德半导体专用检测仪器设备, 二维材料制备设备(TCVD) - 配备热壁石英管和LabVIEW自动控制软件,可用于MoS2 / h-BN / CNT/......

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技术规格如下:

1. 石英管及工艺炉 QUARTZ TUBE & FURNACE
    - Tube Dimensions: ф100*1200mm
    - Furnace Body (WxHxD): 500x500x350
    - Heater: Kanthal Wire w/ Glass Wool Molding
    - Maximum Temperature: 1,100°C
    - Thermocouple: K type, ID 6.5 mm
    - Heating Zone: 1-zone, ф100*350mm
    - Linear Motion Control Unit
    - Manual Furnace Door


2. 气路 GAS SUPPLY UNIT
     - Three (3) Mass Flow Controllers w/ 1% FS Accuracy
        a) Hydrogen (H2), 100sccm

        b) Methane (CH4), 200sccm
        c) Argon (Ar): 1,000sccm
     - Open Mounting Bay for Fourth (4th) MFC
     - 0.25” Stainless Steel Tubing
     - Five (5) 0.25” Pneumatic-Type Diaphragm Valves


3. 真空及压力控制 VACUUM & PRESSURE CONTROL UNIT
     - Convection Gauge

     - Convection Gauge Controller
     - 10 Torr Capacitance Manometer
     - Motor-Geared Throttle Valve
     - Pressure & Flow Controller
     - Oil Rotary Pump (340L/M)


4. 系统控制单元 SYSTEM CONTROL UNIT
     - MS Windows 7 Embedded PC
     - PLC Module with National Inst. LabVIEW Interface
     - 19” LCD Monitor


5. 安全及冷却 SAFETY & COOLING
     - Water Cooled End Flanges
     - Buzzer Alarm & System Error Display
     - Interlock System


6. 设备尺寸及实验室要求 DIMENSIONS & UTILITY REQUIREMENTS
     - Footprint: 1.75m (W) x 1.60m (H) x 0.75m (D)
     - Weight: ~200kg
     - Power: 220V, 50/60Hz, 3Φ, 4-wire, 30A
     - Air: 4-5kgf/cm2, 0.25” tube
     - Water: 2-3kgf/cm2, 0.25” tube


参考用户:

剑桥大学,牛津大学,曼彻斯特大学,莱斯大学,斯坦福大学,新加坡国立大学,东京技术研究所,东京大学,韩国东国大学等...


厂家资料

地址:上海市松花江路251弄白玉兰环保广场7号

电话:400-6699-117 转 1000

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