- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空环境使用；
- 加热区域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺，如156mm X 156mm电池片，300mm X 300mm电池片等；
参考用户：
中科院上海技术物理所，中国电子科技集团41所；
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